Современные материалы специального назначения, Материалы для микро- и наноэлектроники

Актуальность работы. За несколько десятков лет развития микроэлектромеханики было создано огромное количество разнообразных приборов, при этом основными их видами являются интегральные датчики и исполнительные механизмы (приводы). В последние десятилетия в данной области техники произошел значительный качественный скачок, связанный с появлением широкого спектра так называемых микроэлектромеханических систем (МЭМС) – полупроводниковых приборов, совмещающих на одном чипе электронную и механическую части, изготавливаемые в едином технологическом процессе. Современная измерительная МЭМС содержит на одном кристалле, как правило, несколько механических (чувствительных) элементов вместе со сложными электронными схемами управления, преобразования и обработки сигнала, выдающими на выходе информацию об измеряемой величине в цифровой форме. Цель работы – исследовать современные материалы специального назначения, материалы для микро- и наноэлектроники. Задачи: - рассмотреть назначение и требования к материалам; - описать технологии получения; - проанализировать производство. Объект исследования – материалы для микро- и наноэлектроники. Предмет исследования – современные материалы специального назначения.

---

Если нужны рефераты на заказ в Ростове , заполняй форму на Work5.

---

. Методы исследования – анализ, обобщение полученной информации. Структура работы состоит из введения, двух глав, заключения, списка литературы

В результате проделанной работы решены следующие задачи: рассмотрены назначение и требования к материалам; описаны технологии получения; проанализировать производство. Задачи измерения физических процессов в условиях повышенных температур становятся все более актуальными по мере развития технологий, освоения новой продукции. Высокотемпературные датчики (ВТД) широко используются в ракетно-космической технике, авиации, металлургии, химической промышленности. Температура измеряемой среды может достигать 1500 оС. Следует отметить, что при создании ВТД необходим комплексный подход к разработке конструкции, технологии и технологическому оснащению. При этом особое внимание следует уделять выбору конструктивных и функциональных материалов. К функциональным материалам относят те материалы, которые непосредственно участвуют в процессе функционального преобразования входной измеряемой величины в выходную. Процесс преобразования заключается в использовании определенных физических эффектов, присущих данному материалу (пьезорезистивный, терморезистивный, магнитоэлектрический и проч.) для однозначной идентификации входной величины, путем модуляции параметров материала (сопротивления, заряда, термо-ЭДС и т.п.). Металлы и сплавы со специальными свойствами – совокупность моно-и поликристаллических, аморфных и нанокомпозитных материалов, обладающих способностью очень сильно (на несколько порядков), даже в слабых полях внешних воздействий, изменять некоторые их физические свойства очень важные для практического применения. Технология разработки и создания материалов и сплавов со специальными свойствами предназначена для создания аппаратов и устройств, работающих в экстремальных условиях в качестве их элементной базы, а также для прогнозирования сроков их эксплуатации, активных элементов гасителей, усилителей, эффективных излучателей упругих колебаний, датчиков магнитных, электрических и упругих полей, управляемых акустических линий задержки, устройств модуляции акустического и оптического сигналов. Материальную основу этих технологий составляют материалы, полученные на основе использования ферромагнетиков, ферритов, сегнетоэлектриков и сегнетомагнетиков, в том числе в качестве нанодисперсных включений в немагнитную и несегнетоэлектрическую матрицу, а также теоретические разработки, связанные с изучением физических свойств перечисленных материалов, создаваемые вычислительные комплексы для расчета важнейших диссипативных и акустических параметров магнитных, сегнетоэлектрических и сегнетомагнитных материалов.

1. Амеличев В.В. МЭМС-микрофон. Выбор материала, конструкций и технологии*. II. Влияние полости под диафрагмой на характеристики микрофона // Нанои микpосистемная техника. 2017. № 3. С. 27-35. 2. Александров С.Е. МЭМС-переключатель резистивно-емкостного типа // Нано- и микpосистемная техника. 2017. № 7. С. 65-68. 3. Белозубов Е.М., Белозубова Н.Е. Тонкопленочные емкостные МЭМС-структуры с минимизацией влияния температур для датчиков давления // Нано- и микpосистемная техника. 2018. № 10. С. 42-107. 4. Иванов А. В., Ивахнюк Г. К., Медведева Л. В. Методы управления свойствами углеводородных жидкостей в задачах обеспечения пожарной безопасности // Пожаровзрывобезопасность / Fire and Explosion Safety. - 2016. - № 9. - C. 30-107. 5. Петрова Г.Н., Перфилова Д.Н. и др. Термопластичные эластомеры для замены резин //Авиационные материалы и технологии. - 2017. - №5. - С. 32–108. 6. Рычков Д.А. Стабилизация заряда полимерных электретов: монография. Санкт-Петербург: изд-во РГПУ им. А.И. Герцена, 2017. - 159 с. 7. Сизов Е. Г., Беловых Ю. В. Механика и молекулярная физика: лабораторный практикум : учебное пособие. — Барнаул : Изд-во АГАУ, 2016. — 108 с. 8. Шашок, Ж. С. Применение углеродных наноматериалов в полимерных композициях / Ж. С. Шашок, Н. Р. Прокопчук. – Минск : БГТУ, 2018. – 232 с.